產品詳情
產品名稱:武漢工業半導體設備密封圈
- 產品型號:
- 產品廠商:其它品牌
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詳情介紹:
半導體設備在蝕刻、沉積、清洗等工藝中,會涉及高溫、強腐蝕性化學品和等離子體環境,對密封圈的性能要求極為嚴苛,全氟醚橡膠(FFKM)密封圈,這是一種高性能特種橡膠,因其優異的耐化學腐蝕性、耐高溫性和潔凈度,成為半導體刻蝕、薄膜沉積等工藝中不可或缺的關鍵耗材。
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